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啟迪專精特新丨國產首臺！金竟科技電子束曝光機獲北京市重大技術裝備認證打印

發布時間：2025-10-21來源：金竟科技

近日，啟迪投資企業——北京金竟科技有限責任公司自主研發的Pharos 310電子束曝光機正式獲得北京市首臺（套）重大技術裝備認證，標志著該產品成為經官方權威認證的首款國產商業化電子束曝光設備。此次獲得首臺（套）認證，不僅是對金竟科技技術實力的高度認可，也是我國在高端科學儀器領域自主創新能力的有力證明。

 

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電子束曝光機又稱電子束光刻機，廣泛應用于微納米加工、半導體器件制備等國家戰略相關領域。此前，我國在該領域長期依賴進口，并屢遭禁運，嚴重制約了科技事業發展。金竟科技推出的Pharos系列電子束曝光機打破了這一局面，為解決該領域“卡脖子”困境提供了關鍵支撐。